笨重的機(jī)械臂運(yùn)轉(zhuǎn)發(fā)出低沉且有些刺耳的轟鳴聲。
第一片被打磨得光滑如鏡的單晶硅片被小心翼翼地送入了曝光臺(tái)。
掩膜版準(zhǔn)確就位,紫外光源開(kāi)始預(yù)熱散發(fā)出幽藍(lán)色的光芒。
真正要命的流片過(guò)程開(kāi)始了。
由于這臺(tái)光刻機(jī)是依靠無(wú)數(shù)報(bào)廢零件拼湊出來(lái)的,它根本沒(méi)有全自動(dòng)的微電腦控制中心。
所有的關(guān)鍵參數(shù)全部都需要依靠人工來(lái)手動(dòng)控制推桿和旋鈕。
只要在這極度復(fù)雜的工序中稍微差了零點(diǎn)一秒的時(shí)間,硅片上的微觀電路就會(huì)徹底成為無(wú)法挽救的廢品。
曲令頤坐在主控臺(tái)正中間,她的雙手懸停在那兩排密密麻麻的金屬旋鈕和推桿上方。
“刻蝕氣體主閥門(mén)開(kāi)到三擋,三點(diǎn)五秒后瞬間關(guān)閉,一毫秒都不能多。”
她連頭都沒(méi)回,目光死死盯著前方的觀察窗。
“方教授注意顯影液溫度表盤(pán),立刻升溫零點(diǎn)二度,穩(wěn)定后報(bào)數(shù)。”
“左側(cè)三號(hào)絲杠微調(diào)零點(diǎn)零一毫米,倒數(shù)三秒后鎖定。”
曲令頤的語(yǔ)速變得越來(lái)越快,她的雙手在寬大的控制臺(tái)上直接化作了一團(tuán)模糊的殘影。
她根本不需要抬頭去看那些反應(yīng)遲鈍的儀表盤(pán)。
每一個(gè)極限數(shù)字都仿佛早就深深地刻在了她的腦子里。
她憑借著對(duì)設(shè)備極限運(yùn)轉(zhuǎn)的變態(tài)感知能力,硬生生地用一雙血肉構(gòu)成的手充當(dāng)了這臺(tái)鋼鐵巨獸的自動(dòng)化控制中樞。
太快了,這操作頻率簡(jiǎn)直太瘋狂了。
站在后面死死盯著的方為民看得心臟病都快要當(dāng)場(chǎng)發(fā)作了,這種忽冷忽熱的物理極限壓榨簡(jiǎn)直是在挑戰(zhàn)材料學(xué)的底線。
可是方為民死死咬住嘴唇根本不敢出聲打擾。
現(xiàn)在的曲令頤身上散發(fā)著一種神擋殺神的氣場(chǎng),整臺(tái)龐大且簡(jiǎn)陋的機(jī)器都仿佛在隨著她的呼吸節(jié)律而律動(dòng)。
第一道紫外光曝光結(jié)束。
強(qiáng)酸清洗。精準(zhǔn)的離子注入。高溫退火。
整整十二個(gè)極其復(fù)雜的流片步驟在曲令頤那雙如同魔術(shù)般的手下以一種令人眼花繚亂的速度推進(jìn)著。
主控臺(tái)上的溫度越來(lái)越高,曲令頤額頭上的汗水順著臉頰滑落滴在領(lǐng)口上,她連擦一下的時(shí)間都沒(méi)有。
終于,隨著最后一道清洗程序的警報(bào)聲響起。
笨重的艙門(mén)伴隨著一陣白色的蒸汽緩緩向兩側(cè)打開(kāi),機(jī)械臂托著一塊切分好的晶圓平穩(wěn)地送了出來(lái)。
“取出,直接上測(cè)試臺(tái)。”
曲令頤雙手離開(kāi)主控臺(tái)重重地靠在椅背上閉上了眼睛。
方為民像頭敏捷的老豹子一樣竄了過(guò)去,親手捧著那塊晶圓連滾帶爬地跑到旁邊的電學(xué)性能測(cè)試儀器前。
探針緩緩落下接觸到芯片表面的金屬觸點(diǎn),綠色的指示燈亮起。
全場(chǎng)死寂。
方為民盯著測(cè)試儀上的指針眼珠子都快要瞪出眼眶了。
“良品率……”
方為民的聲音抖得根本連不成一句完整的話。
“多少!”
陳默在病床上聲嘶力竭地喊道,他感覺(jué)自己的心臟都要從嗓子眼里跳出來(lái)了。
“百分之九十三!”
方為民喊出這個(gè)數(shù)字的時(shí)候感覺(jué)自己的靈魂都出竅了。